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| 전구체 기화 공급시스템 설계 Designing Service for Evaporated Precursor Supplying System | |||||
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| 관리자 (IP: *.241.17.234) : 작성일 : 2017-11-21 14:23 조회수 : 34,678 | |||||
전구체 기화 공급시스템 설계 Designing Service for Evaporated Precursor Supplying System
공정장비에서 전구체(Precursor)를 기화시켜 반응챔버(Reactor)에 공급하기 위해서는 많은 고려를 하여야 한다. CVD/ALD 장비의 최종 목표인 박막을 안정적으로 얻기 위하여 항상 일정량의 전구체 기체를 만들어서 반응챔버로 이송하여야 하며, 우선 원하는 량의 전구체 증기를 발생시키기 위하여, 캐니스터 디자인, 열관리 방법, 전구체 레벨의 관리, 자동충진장치의 적용여부, 공급배관계의 디자인 및 열관리, 기화기의 사용 등 매우 다양한 고려사항이 있으며, 가장 적절한 기화공급시스템의 설계를 위해서는 많은 데이터, 경험 그리고 섬세함을 요구한다. ㈜지오엘리먼트는 고객의 안정적인 공정장비의 디자인을 위하여 전구체 기화공급시스템 설계작업을 통하여 CVD/ALD 원료공급계의 설계를 대행하거나 설계에 필요한 각종 데이터의 제공 및 실제 제작하여 공급하기도 합니다. 자세한 설명 및 상담을 위하여 ㈜지오엘리먼트 기술영업담당자와 컨택을 하시기 바랍니다. (031-611-9123/webmaster.goelement.co.kr)
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